行业解决方案
半导体行业

生产实力

为更好服务半导体行业客户国机密封设立了专业的生产车间,车间拥有万级洁净度的生产区域和百级洁净度的清洗包装区域,可根据客户需求定制个性化密封产品

image.png


研发能力

研发设备方面国机密封拥有国内唯一一家国家级橡塑密封研究平台,拥有超过3500m2的中心实验室,拥有全面的密封材料及密封产品评价能力,包括台架测试,全工况老化测试及寿命评估能力等。

国机密封科学城副楼.JPG

人才队伍

研发团队建设方面,国机密封拥有10名教授级高工,以及各级职称工程师115名。成立专为半导体行业服务的技术团队,在材料选择、尺寸选型、生产制造、售后服务等环节提供专业的技术支持。

特色产品

国机密封密封产品具有优异的耐等离子、耐高温、耐酸碱腐蚀等特点,广泛应用于芯片制造的三大制程。结合刻蚀、沉积、化学机械抛光、热处理、清洗等工艺的不同特性,提供相应的密封解决方案。

针对刻蚀、沉积等对等离子体析出和耐化学腐蚀有要求的工艺,推荐使用70T01、70T02、75W01等型号产品。针对沉积、氧化、热处理等对耐温要求高的工艺,推荐使用70T01、5B01等型号产品。其他湿制程工艺推荐使用70B01等型号产品。(详见产品宣传手册)

选型表.jpg